常温下，硅单晶在纯HF中的腐蚀速度很小，但复在纯HF中加一滴HNO3，腐蚀速度会大大增加。我做硅料酸洗的，我们的酸就制是HNO3和HF的混合酸。在这个过程中，参与反应的不是硅本身，而是硅表百面的金属杂质。涉及到电化学腐蚀的知识度。通常用的非择优腐蚀剂的配方为:HF(40-42%):HNO3(65%)=1:2.5它们的化学反应过程为:Si+4HNO3+6HF=H2SiF6+4NO2+4H2O。
2024-10-10
常温下，硅单晶在纯HF中的腐蚀速度很小，但复在纯HF中加一滴HNO3，腐蚀速度会大大增加。我做硅料酸洗的，我们的酸就制是HNO3和HF的混合酸。在这个过程中，参与反应的不是硅本身，而是硅表百面的金属杂质。涉及到电化学腐蚀的知识度。通常用的非择优腐蚀剂的配方为:HF(40-42%):HNO3(65%)=1:2.5它们的化学反应过程为:Si+4HNO3+6HF=H2SiF6+4NO2+4H2O。